最近(jin)幾年，在我國(guo)半(ban)(ban)導體(ti)設(she)備(bei)企業(ye)的努力(li)下，半(ban)(ban)導體(ti)設(she)備(bei)不斷通過各大晶圓廠的產(chan)(chan)線驗證，進入了商業(ye)化供貨階段。半(ban)(ban)導體(ti)設(she)備(bei)國(guo)產(chan)(chan)替代的黃金浪潮已(yi)然(ran)開啟(qi)。半(ban)(ban)導體(ti)設(she)備(bei)作(zuo)為是半(ban)(ban)導體(ti)產(chan)(chan)業(ye)夢的基石(shi)，加速發(fa)展勢在必行。
半(ban)導(dao)體設備(bei)(bei)(bei)按照市場(chang)(chang)來分(fen)(fen)，大(da)致可分(fen)(fen)為三個(ge)不(bu)同的細分(fen)(fen)市場(chang)(chang)：晶(jing)圓設備(bei)(bei)(bei)、組(zu)裝(zhuang)和封(feng)(feng)裝(zhuang)設備(bei)(bei)(bei)以及測(ce)(ce)試(shi)設備(bei)(bei)(bei)。其中晶(jing)圓設備(bei)(bei)(bei)占(zhan)據大(da)頭，2021 年，晶(jing)圓設備(bei)(bei)(bei)部(bu)分(fen)(fen)占(zhan)半(ban)導(dao)體設備(bei)(bei)(bei)市場(chang)(chang)約 86% 的大(da)部(bu)分(fen)(fen)份(fen)額(e)，全球晶(jing)圓半(ban)導(dao)體設備(bei)(bei)(bei)市場(chang)(chang)可進一步(bu)分(fen)(fen)為邏輯、NAND、DRAM和其他四(si)個(ge)部(bu)分(fen)(fen)；近幾年由于日月光、Amkor、長電科技、通(tong)富微電、華天科技在(zai)內的專業(ye)封(feng)(feng)測(ce)(ce)廠商在(zai)2.5D和3D先進封(feng)(feng)裝(zhuang)領域的大(da)幅投資(zi)，導(dao)致對封(feng)(feng)裝(zhuang)和測(ce)(ce)試(shi)設備(bei)(bei)(bei)的需求(qiu)有所提升。
根據SEMI的(de)報告，如果從(cong)這三大(da)分(fen)類的(de)增(zeng)長(chang)(chang)(chang)預(yu)(yu)(yu)期(qi)來(lai)看，其(qi)中，晶圓(yuan)廠設(she)備這一分(fen)類預(yu)(yu)(yu)計將(jiang)在(zai)2022年(nian)(nian)增(zeng)長(chang)(chang)(chang)15.4%，達到1010億(yi)美元(yuan)的(de)新行業紀錄，到2023年(nian)(nian)達到1043 億(yi)美元(yuan)。半導體測試(shi)設(she)備市場預(yu)(yu)(yu)計2022年(nian)(nian)將(jiang)增(zeng)長(chang)(chang)(chang)12.1%至88億(yi)美元(yuan)，2023年(nian)(nian)受到高性能計算 (HPC) 應用(yong)程序的(de)需求再增(zeng)加0.4%。組裝和封裝設(she)備預(yu)(yu)(yu)計將(jiang)在(zai)2022年(nian)(nian)增(zeng)長(chang)(chang)(chang)8.2%至78億(yi)美元(yuan)，并在(zai)2023年(nian)(nian)小幅下降0.5%至77億(yi)美元(yuan)。
SEMI預計，原始設備制造商的全球半導體制造設備總(zong)銷售額預計將在(zai)2022年(nian)達到創紀錄的1175億美(mei)元，比2021年(nian)的行業高點1025億美(mei)元增長14.7%，并在(zai)2023年(nian)增至 1208 億美(mei)元。
在這樣的(de)背景下(xia)，國產半(ban)導體設(she)備(bei)廠商也受到(dao)了行業(ye)紅利，上(shang)半(ban)年國產設(she)備(bei)供應商在設(she)備(bei)中標、企(qi)業(ye)營收等方(fang)面均迎來良好的(de)增(zeng)長。
國產半導體設備中標情況
半導體(ti)(ti)設(she)備(bei)的(de)(de)(de)增(zeng)長與晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)廠(chang)(chang)(chang)的(de)(de)(de)擴(kuo)張息息相關，晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)廠(chang)(chang)(chang)擴(kuo)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)資本支(zhi)出中(zhong)有70%-80%是用(yong)于購(gou)買半導體(ti)(ti)設(she)備(bei)。從去年開始(shi)，缺芯引發(fa)了國(guo)內(nei)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)廠(chang)(chang)(chang)積(ji)極擴(kuo)產(chan)(chan)，例如(ru)，上海(hai)積(ji)塔半導體(ti)(ti)已披(pi)露計劃斥(chi)資超過260億元(yuan)人(ren)民幣(bi)在上海(hai)臨港(gang)經濟開發(fa)區擴(kuo)建 12 英寸晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)廠(chang)(chang)(chang)產(chan)(chan)能(neng)；華虹半導體(ti)(ti)籌集180億元(yuan)人(ren)民幣(bi)，用(yong)于擴(kuo)大其無(wu)錫 12 英寸晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)廠(chang)(chang)(chang)的(de)(de)(de)產(chan)(chan)能(neng)；中(zhong)芯國(guo)際在北(bei)京、深圳和上海(hai)的(de)(de)(de)三個新的(de)(de)(de)12英寸晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)廠(chang)(chang)(chang)的(de)(de)(de)建設(she)進度保持正常等。這些都加(jia)速(su)了對國(guo)產(chan)(chan)設(she)備(bei)的(de)(de)(de)需求。
因此，2022年上(shang)半年，國產半導(dao)體設(she)(she)備招(zhao)標(biao)(biao)采購(gou)量持續增(zeng)長。據德邦證券統計，今年1~6月(yue)國內(nei)主(zhu)流晶圓(yuan)廠(chang)(chang)(chang)合(he)計開(kai)標(biao)(biao) 548 臺(tai)(tai)設(she)(she)備，源自中(zhong)(zhong)國大陸廠(chang)(chang)(chang)家制造的(de)設(she)(she)備共(gong)計 189 臺(tai)(tai)，占比達(da) 34.5%。這 548 臺(tai)(tai)開(kai)標(biao)(biao)的(de)設(she)(she)備主(zhu)要來自華(hua)(hua)虹無(wu)錫（291 臺(tai)(tai)）、上(shang)海積(ji)塔（210 臺(tai)(tai)）、時代電(dian)氣（16 臺(tai)(tai)）、福(fu)(fu)建晉(jin)華(hua)(hua)（23 臺(tai)(tai)）、華(hua)(hua)力集成（6 臺(tai)(tai)）、華(hua)(hua)力微電(dian)子(zi)（2 臺(tai)(tai)）。在這些招(zhao)標(biao)(biao)的(de)晶圓(yuan)廠(chang)(chang)(chang)中(zhong)(zhong)，國產設(she)(she)備中(zhong)(zhong)標(biao)(biao)數較多的(de)晶圓(yuan)廠(chang)(chang)(chang)為(wei)上(shang)海積(ji)塔（126 臺(tai)(tai)）、華(hua)(hua)虹無(wu)錫（45 臺(tai)(tai)）、時代電(dian)氣（8 臺(tai)(tai)）、福(fu)(fu)建晉(jin)華(hua)(hua)（9 臺(tai)(tai)）。其中(zhong)(zhong)上(shang)海積(ji)塔國產率最高，達(da)到(dao)60%。
具體(ti)(ti)到設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)類型(xing)來看，這548 臺(tai)(tai)(tai)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)中(zhong)(zhong)，爐管設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)為(wei)119臺(tai)(tai)(tai)、沉積設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)97 臺(tai)(tai)(tai)、刻(ke)(ke)蝕設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)82 臺(tai)(tai)(tai)、前道(dao)檢(jian)測(ce)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)64 臺(tai)(tai)(tai)、后道(dao)測(ce)試設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)46 臺(tai)(tai)(tai)、清洗設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)33 臺(tai)(tai)(tai)、干(gan)法去膠(jiao)(jiao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)31 臺(tai)(tai)(tai)、離子(zi)注入機28 臺(tai)(tai)(tai)拋光設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)21 臺(tai)(tai)(tai)、涂膠(jiao)(jiao)顯影(ying)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)17 臺(tai)(tai)(tai)、光刻(ke)(ke)機10 臺(tai)(tai)(tai)。其中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)產率(lv)(lv)較高(gao)的環(huan)節是，干(gan)法去膠(jiao)(jiao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)的國(guo)(guo)產率(lv)(lv)高(gao)達81%、刻(ke)(ke)蝕設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)為(wei)54%、拋光設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)為(wei)43%、清洗設(she)(she)(she)(she)為(wei)58%、涂膠(jiao)(jiao)顯影(ying)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)為(wei)35.3%。國(guo)(guo)產設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)國(guo)(guo)產化(hua)率(lv)(lv)的提升，離不開北(bei)方華創(chuang)、中(zhong)(zhong)微公(gong)司、盛美半(ban)導體(ti)(ti)、芯源(yuan)微、屹唐(tang)半(ban)導體(ti)(ti)、至純科(ke)技、華海清科(ke)等中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)大陸廠家的不斷發展。
本土設(she)備中標數量的增長，以及國內(nei)晶(jing)圓廠(chang)的國產化率(lv)的提升，都(dou)反(fan)映出大陸半導體設(she)備企(qi)業發展(zhan)欣欣向榮。
上半年國產半導體設備廠商營收普漲
2022年上半年，電動汽車產業、大數據及人工智能的快速發展，對芯片產出的需求(qiu)量(liang)與日俱增。再加上近些年來，國(guo)產替(ti)代意(yi)識(shi)和意(yi)愿的加強，給本土(tu)半(ban)(ban)導體(ti)業務的發展提供了(le)強大(da)的空間(jian)。因此，國(guo)內(nei)半(ban)(ban)導體(ti)設備供應商上半(ban)(ban)年營收基本都實現了(le)不同程度的增長，并且(qie)由于手中(zhong)的大(da)量(liang)訂單，他們對今年剩余時(shi)間(jian)的出貨前景也保持信心。
從整體類(lei)別上看，國產設備基本可以覆(fu)蓋(gai)到半導(dao)體制造(zao)的各階段所需。尤其在刻蝕、清洗、薄(bo)膜(mo)等設備方面(mian)表現突出。無論是從一、二(er)級市(shi)(shi)場(chang)追捧、上市(shi)(shi)公司(si)業績(ji)亮(liang)眼等角度來看，本土(tu)半導(dao)體設備供應(ying)商(shang)已經進入了黃金發展周期。
北方(fang)華創(chuang)和(he)中(zhong)微公(gong)(gong)司(si)是刻(ke)(ke)蝕(shi)設備(bei)領域的(de)公(gong)(gong)司(si)，刻(ke)(ke)蝕(shi)設備(bei)也是我國最具優(you)勢的(de)半導體設備(bei)領域，已經逐漸進(jin)入(ru)成熟期(qi)。其中(zhong)中(zhong)微公(gong)(gong)司(si)的(de)介(jie)質(zhi)刻(ke)(ke)蝕(shi)已進(jin)入(ru)臺積(ji)電(dian)5nm產線，北方(fang)華創(chuang)在ICP（電(dian)感耦合等離(li)子體）刻(ke)(ke)蝕(shi)領域較(jiao)具優(you)勢，其14納米等離(li)子硅刻(ke)(ke)蝕(shi)機已成功進(jin)入(ru)主(zhu)流項目產線。
北方華創預計2022年半年度營收50.5億元-57.7億元，比上年同期增長40%-60%。中微公司預(yu)計 2022年(nian)半年(nian)度營業收入約(yue) 19.7 億元，同比(bi)(bi)增(zeng)長約(yue) 47.1% （2021 年(nian)上半年(nian)營業收入13.4 億元，同比(bi)(bi)增(zeng)長約(yue) 36.8%）；凈利潤為(wei) 4.1億元到(dao) 4.5億元，同比(bi)(bi)增(zeng)加 565.42%到(dao) 630.34%。新(xin)增(zeng)訂單約(yue)30.6億元，同比(bi)(bi)增(zeng)長約(yue)62%。
清洗設備供應商盛美半導體2022年上(shang)半(ban)年營(ying)業收入為(wei)10.96億(yi)元(yuan)，同比增長(chang)75.21%，凈(jing)利(li)潤為(wei)2.37億(yi)元(yuan)，較上(shang)年同期增長(chang)163.83%。半(ban)導體清洗設(she)備(bei)(bei)、前道半(ban)導體電(dian)(dian)鍍設(she)備(bei)(bei)和(he)先(xian)進封裝(zhuang)濕法設(she)備(bei)(bei)（包含后(hou)道電(dian)(dian)鍍設(she)備(bei)(bei)）的營(ying)業收入均有較大增長(chang)。
CMP設備供應商華海清科預(yu)計2022年半年度營業收入為(wei) 6.8億(yi)元至7.5億(yi)元，同(tong)比(bi)增長131.60%至 155.44%。實現歸屬于母公司所有(you)者的凈利潤(run)為(wei) 1.7億(yi)元至1.95億(yi)元，同(tong)比(bi)增長140.99%至176.43%。
半導體晶體生長設備供應商晶盛機電預計2022年(nian)上(shang)半年(nian)歸屬于上(shang)市公司股東的(de)凈利潤(run)為10.8億元–12.5億元，比上(shang)年(nian)同期增長79.91%–108.22%。
另外據(ju)消息人士稱(cheng)，包括(kuo)拓荊科技(ji)、涂膠顯(xian)影設備(bei)供應商芯源微在內的(de)(de)半導體設備(bei)制造(zao)商上半年的(de)(de)收入也有顯(xian)著(zhu)增(zeng)長(chang)，未來(lai) 6-12 個月的(de)(de)訂(ding)單可(ke)見(jian)度明(ming)顯(xian)。
這些上市半導體設備企業中多是十幾年摸爬滾打過來的老牌企業，如今終于守得云開見月明。此前芯謀研究評價老牌國產半導體設備企業中提到，“務實、穩定的行業領頭人和技術團隊，正是半導體設備企業邁向成功的關鍵之一。他們經過數十年的積累，承受住了市場的考驗。當產業化機遇來臨之時，這些經驗老道、實力雄厚的實干企業就乘風而起。”
國內設(she)備業(ye)的(de)蓬(peng)勃發(fa)展(zhan)不(bu)僅(jin)體現(xian)在上市(shi)的(de)設(she)備企業(ye)中，非上市(shi)設(she)備企業(ye)也(ye)迎(ying)來了良(liang)好的(de)進(jin)展(zhan)。
2022年上(shang)半年，摩(mo)爾精(jing)英的(de)(de)MEE-T系列(lie)ATE測試設備(bei)成功導(dao)入3家全(quan)球前十(shi)大(da)模(mo)擬(ni)芯片廠商(shang)(shang)和(he)十(shi)余家國產(chan)(chan)(chan)芯片廠商(shang)(shang)的(de)(de)量(liang)產(chan)(chan)(chan)供應(ying)鏈。MEE-T系列(lie)ATE測試設備(bei)是一(yi)款成熟穩定(ding)的(de)(de)數模(mo)混(hun)合(he)測試機，擅長手機AP、MCU、PMIC、IoT等各(ge)類(lei)芯片產(chan)(chan)(chan)品，巔(dian)峰期全(quan)球裝機量(liang)達到(dao)3500臺。值得一(yi)提的(de)(de)是，MEE-T系列(lie)測試設備(bei)協(xie)助某國際模(mo)擬(ni)巨頭廠商(shang)(shang)，為其主(zhu)力產(chan)(chan)(chan)品提升了6.7倍的(de)(de)測試產(chan)(chan)(chan)出效率，穩定(ding)性提升了413%。
資本還在垂青設備領域
在國產設備的(de)高需求和發(fa)展前(qian)景之下，許(xu)多初(chu)創的(de)半(ban)導體設備公司也(ye)獲得(de)了資本的(de)青(qing)睞。
2022年2月和5月，北京特思迪半導體設備有限公司分別獲得兩次戰略融資，投資者中有哈勃投資的身影。其專注于半導體領域表面加工設備的研發、生產和銷售，針對半導體襯底材料、半導體器件、先進封裝、MEMS等領域，提供減薄、拋光、CMP的系統解決方案和工藝設備。2022年5月7日，電子科大校友企業、晶圓傳輸設備供應商泓滸半導體完成數千(qian)萬元A輪戰略融資。
在半導體檢測設備領域，2022年2月17日，精積微半導體完成3億元戰略融資，聚焦明場晶圓有圖形缺陷檢測設備領域相關產品的研究開發以及生產制造等；2022年2月15日，中安半導體完成A輪2億元融資，該公司主要提供半導體硅片平整度檢測設備、三維形貌檢測設備等服務；2022年2月11日，微崇半導體完(wan)成數千萬元(yuan)Pre-A輪融資，該(gai)公司致力(li)于研(yan)發材料檢測技(ji)術(shu)，生產(chan)半導體前道檢測設備。
在封裝設備領域，2022年6月15日，稷以科技完成了中興創投等的戰略融資，金額未透露，稷以科技的等離子體設備可用于半導體芯片封裝；2022年4月，深圳泰研半導體裝備有限公司獲(huo)得合創(chuang)資本投資的數(shu)千萬元A輪融(rong)資，泰研半(ban)導體(ti)是(shi)先進封裝領域(yu)的半(ban)導體(ti)工藝與(yu)設(she)備服務商(shang)，可為客戶(hu)提供SiP、Fanout、Chiplet、3D等先進封裝產線上激(ji)光(guang)+等離子+ 鍍膜(mo)成套復合工藝與(yu)制程應用設(she)備。
在(zai)整個半導(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)(bei)產(chan)業結構中，前道(dao)(dao)設(she)(she)(she)備(bei)(bei)在(zai)總銷售額大(da)約(yue)占(zhan)85%左右的(de)(de)(de)市場，后(hou)道(dao)(dao)測(ce)試設(she)(she)(she)備(bei)(bei)占(zhan)9%，后(hou)道(dao)(dao)封裝(zhuang)設(she)(she)(she)備(bei)(bei)占(zhan)比約(yue)6%。過去(qu)封測(ce)類設(she)(she)(she)備(bei)(bei)幾乎被國(guo)外廠(chang)商(shang)壟斷(duan)，但是現(xian)在(zai)隨著國(guo)際形勢的(de)(de)(de)變化，封測(ce)OAST廠(chang)商(shang)們的(de)(de)(de)國(guo)產(chan)選擇意愿度大(da)幅提升(sheng)，這也給了(le)國(guo)產(chan)測(ce)試設(she)(she)(she)備(bei)(bei)和封裝(zhuang)設(she)(she)(she)備(bei)(bei)提供了(le)產(chan)業培育和客戶驗證的(de)(de)(de)機會。再加上現(xian)在(zai)資本的(de)(de)(de)看(kan)重(zhong)，或(huo)許能為我國(guo)封測(ce)設(she)(she)(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)發展起到一定的(de)(de)(de)推動作(zuo)用。
結語
中(zhong)國是全球(qiu)(qiu)(qiu)最大的(de)(de)半(ban)導(dao)體(ti)設備市場(chang)，隨著需求不斷(duan)上升(sheng)而推動(dong)的(de)(de)高代(dai)工資本支出、工藝(yi)的(de)(de)開(kai)(kai)發(fa)、存儲(chu)芯(xin)(xin)(xin)片的(de)(de)開(kai)(kai)發(fa)、環(huan)保生(sheng)產(chan)驅動(dong)的(de)(de)光伏需求、LED、MEMS、功率器件和(he)先進封裝(zhuang)的(de)(de)需求不斷(duan)增長(chang)(chang)，未(wei)來(lai)10年(nian)，中(zhong)國將成為(wei)全球(qiu)(qiu)(qiu)半(ban)導(dao)體(ti)芯(xin)(xin)(xin)片制(zhi)造(zao)的(de)(de)中(zhong)心(xin)。從歷史(shi)角(jiao)度(du)來(lai)看，半(ban)導(dao)體(ti)設備公司的(de)(de)興起與成長(chang)(chang)隨著全球(qiu)(qiu)(qiu)芯(xin)(xin)(xin)片制(zhi)造(zao)中(zhong)心(xin)而遷移。據SIA的(de)(de)數據，在(zai)中(zhong)國大陸晶圓(yuan)(yuan)產(chan)能的(de)(de)持(chi)續快速擴張(zhang)的(de)(de)態(tai)勢下，到(dao)(dao)2030年(nian)，大陸的(de)(de)晶圓(yuan)(yuan)產(chan)能在(zai)全球(qiu)(qiu)(qiu)的(de)(de)占比(bi)有(you)望達到(dao)(dao)24%。因此(ci)，預計國內(nei)設備企業的(de)(de)市場(chang)占比(bi)將在(zai)未(wei)來(lai)幾年(nian)內(nei)穩步上升(sheng)。但在(zai)這個上升(sheng)的(de)(de)過(guo)程中(zhong)，離不開(kai)(kai)半(ban)導(dao)體(ti)客戶更(geng)大的(de)(de)支持(chi)。
