國內半導體行業存在兩個最嚴重的問題，其一就是沒有制造高端芯片的(de)光刻(ke)機(ji)，其二(er)就(jiu)是(shi)(shi)(shi)沒有(you)用于設計先(xian)進制程的(de)EDA工業(ye)軟(ruan)件，也就(jiu)是(shi)(shi)(shi)說(shuo)在(zai)芯(xin)(xin)片行業(ye)最(zui)核心(xin)的(de)硬(ying)件和軟(ruan)件，我(wo)(wo)們都(dou)沒有(you)，我(wo)(wo)們有(you)的(de)只是(shi)(shi)(shi)部分芯(xin)(xin)片設計能(neng)力和芯(xin)(xin)片封裝的(de)能(neng)力，不得(de)不說(shuo)，這是(shi)(shi)(shi)最(zui)為嚴重的(de)兩個問(wen)題(ti)(ti)，想要解決(jue)這兩個問(wen)題(ti)(ti)，我(wo)(wo)們有(you)三(san)(san)條路可以(yi)走(zou)，一就(jiu)是(shi)(shi)(shi)在(zai)成熟芯(xin)(xin)片上實(shi)現自(zi)給自(zi)足(zu)，二(er)就(jiu)是(shi)(shi)(shi)通過(guo)借力來(lai)實(shi)現高端芯(xin)(xin)片的(de)量產，三(san)(san)就(jiu)是(shi)(shi)(shi)徹底(di)解決(jue)光刻(ke)機(ji)和工業(ye)軟(ruan)件的(de)問(wen)題(ti)(ti)，那么今天我(wo)(wo)們就(jiu)主要聊(liao)(liao)聊(liao)(liao)光刻(ke)機(ji)的(de)問(wen)題(ti)(ti)，從光刻(ke)機(ji)的(de)角(jiao)度來(lai)看(kan)看(kan)國內半導體行業(ye)發(fa)展現狀。
光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)是(shi)(shi)(shi)什么時候成為(wei)(wei)了(le)(le)國(guo)(guo)(guo)人(ren)關注的焦點？其實就是(shi)(shi)(shi)美國(guo)(guo)(guo)禁止荷(he)蘭阿斯麥出貨之后(hou)，不少國(guo)(guo)(guo)人(ren)都(dou)對此(ci)感到憤怒不已，也(ye)(ye)正是(shi)(shi)(shi)因為(wei)(wei)如此(ci)，國(guo)(guo)(guo)內出現(xian)了(le)(le)大量(liang)關注光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)發(fa)(fa)展(zhan)的群眾，眾所(suo)周知(zhi)，阿斯麥是(shi)(shi)(shi)全(quan)球最大的半導體(ti)設(she)備(bei)制(zhi)造商，特別是(shi)(shi)(shi)用于制(zhi)造先進(jin)制(zhi)程芯片(pian)(pian)的關鍵設(she)備(bei)，全(quan)世(shi)界也(ye)(ye)只有(you)阿斯麥研(yan)發(fa)(fa)出來了(le)(le)，美國(guo)(guo)(guo)不允許(xu)荷(he)蘭出售EUV光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)給中國(guo)(guo)(guo)，就是(shi)(shi)(shi)害(hai)怕中國(guo)(guo)(guo)在芯片(pian)(pian)領域超(chao)越(yue)美國(guo)(guo)(guo)，也(ye)(ye)正是(shi)(shi)(shi)因為(wei)(wei)如此(ci)，我國(guo)(guo)(guo)為(wei)(wei)了(le)(le)解決這個問題，更是(shi)(shi)(shi)投入巨額資金(jin)支持中科院研(yan)發(fa)(fa)光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，國(guo)(guo)(guo)內芯片(pian)(pian)企(qi)業也(ye)(ye)不甘落后(hou)，全(quan)力研(yan)發(fa)(fa)可(ke)以替代(dai)EUV光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)的光(guang)刻(ke)設(she)備(bei)。
那(nei)么現(xian)在國(guo)內光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)究竟發展(zhan)到(dao)(dao)哪一(yi)步了(le)(le)呢？一(yi)家中國(guo)半(ban)導體(ti)公司暴露了(le)(le)其真(zhen)相，我(wo)們(men)都(dou)知道(dao)，國(guo)產(chan)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)最高光(guang)(guang)的(de)(de)時刻(ke)(ke)(ke)，那(nei)就是(shi)富士康訂購46臺國(guo)產(chan)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)，這(zhe)也(ye)一(yi)度讓不(bu)少國(guo)人(ren)感到(dao)(dao)興(xing)奮不(bu)已，因為以(yi)前談到(dao)(dao)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)，那(nei)都(dou)是(shi)購買(mai)荷蘭阿(a)斯麥的(de)(de)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)，可是(shi)富士康偏偏采(cai)購了(le)(le)46臺國(guo)產(chan)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)，這(zhe)也(ye)讓不(bu)少人(ren)以(yi)為國(guo)產(chan)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)取得(de)重(zhong)大突破，難道(dao)說已經可以(yi)和阿(a)斯麥一(yi)較(jiao)高下了(le)(le)嗎？然而就在我(wo)們(men)高興(xing)沒有多久，一(yi)家中國(guo)半(ban)導體(ti)公司徹底暴露了(le)(le)其真(zhen)相。
去年一(yi)(yi)家國(guo)內(nei)芯(xin)片(pian)廠商，也(ye)(ye)就是(shi)(shi)(shi)積(ji)塔半(ban)導(dao)體公布了(le)設備采購(gou)的(de)最終結果，那就是(shi)(shi)(shi)采購(gou)33臺(tai)(tai)設備，其中(zhong)有(you)(you)三十(shi)臺(tai)(tai)來自中(zhong)國(guo)企業，3臺(tai)(tai)則是(shi)(shi)(shi)阿(a)斯麥(mai)的(de)光(guang)(guang)刻(ke)機訂單(dan)，其中(zhong)兩臺(tai)(tai)則是(shi)(shi)(shi)i-line光(guang)(guang)刻(ke)機，另外一(yi)(yi)臺(tai)(tai)則是(shi)(shi)(shi)Krf光(guang)(guang)刻(ke)機，也(ye)(ye)就是(shi)(shi)(shi)說國(guo)產光(guang)(guang)刻(ke)機一(yi)(yi)個也(ye)(ye)沒(mei)有(you)(you)，并(bing)沒(mei)有(you)(you)成為積(ji)塔半(ban)導(dao)體的(de)選擇，那么(me)這究竟是(shi)(shi)(shi)為什么(me)呢(ni)？難道說我們比不過阿(a)斯麥(mai)的(de)EUV光(guang)(guang)刻(ke)機嗎(ma)？就連普通光(guang)(guang)刻(ke)機都比不過嗎(ma)？不少(shao)網友對此(ci)表示非常失望，甚至有(you)(you)人說哪(na)怕技術還(huan)不如阿(a)斯麥(mai)，我們也(ye)(ye)應該使用國(guo)產光(guang)(guang)刻(ke)機。
不得不說，支持國(guo)(guo)貨(huo)固然重要，但(dan)是(shi)(shi)(shi)也要認(ren)清現實，特別是(shi)(shi)(shi)積塔半導(dao)體(ti)采(cai)購的(de)(de)(de)設(she)(she)備，并非全(quan)是(shi)(shi)(shi)光刻(ke)機(ji)設(she)(she)備，其中還有(you)蝕刻(ke)、拋(pao)光、清洗(xi)(xi)等(deng)設(she)(she)備，雖然我(wo)(wo)們在(zai)光刻(ke)機(ji)領(ling)域(yu)不如國(guo)(guo)外(wai)，但(dan)是(shi)(shi)(shi)無論是(shi)(shi)(shi)蝕刻(ke)還是(shi)(shi)(shi)拋(pao)光又或(huo)是(shi)(shi)(shi)清洗(xi)(xi)等(deng)國(guo)(guo)產設(she)(she)備，我(wo)(wo)們都已經達到國(guo)(guo)際領(ling)先(xian)水平(ping)，也正(zheng)是(shi)(shi)(shi)因(yin)為如此(ci)，積塔半導(dao)體(ti)采(cai)購的(de)(de)(de)設(she)(she)備就(jiu)有(you)30臺來自中國(guo)(guo)企(qi)業(ye)，這不也是(shi)(shi)(shi)支持國(guo)(guo)產、支持國(guo)(guo)貨(huo)嗎(ma)？就(jiu)是(shi)(shi)(shi)因(yin)為現在(zai)在(zai)很(hen)多人(ren)眼里只有(you)國(guo)(guo)產光刻(ke)機(ji)，他們一旦發現我(wo)(wo)們自己的(de)(de)(de)企(qi)業(ye)，并沒(mei)有(you)使用自己人(ren)的(de)(de)(de)產品(pin)，就(jiu)會(hui)在(zai)網絡上滿(man)嘴(zui)惡評，其實真的(de)(de)(de)沒(mei)有(you)必(bi)要，因(yin)為我(wo)(wo)們在(zai)芯片(pian)設(she)(she)備領(ling)域(yu)并不是(shi)(shi)(shi)一無是(shi)(shi)(shi)處。
其(qi)實早從2020年(nian)在光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)(ji)領域加大(da)投(tou)入以后(hou)，2021年(nian)我(wo)們(men)就已經(jing)成功研制出，國(guo)(guo)(guo)產第一(yi)臺(tai)28nm的(de)immersion式光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，2022年(nian)國(guo)(guo)(guo)產14nm光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)(ji)的(de)消息也徹底曝光(guang)(guang)，特別是(shi)去年(nian)9月(yue)(yue)份(fen)，上海(hai)更是(shi)發(fa)布(bu)了一(yi)則重(zhong)要消息，那就是(shi)我(wo)國(guo)(guo)(guo)已經(jing)可以實現14nm芯片的(de)生產，10月(yue)(yue)份(fen)上海(hai)經(jing)信(xin)委更是(shi)正式發(fa)布(bu)公(gong)告(gao)，宣稱14nm國(guo)(guo)(guo)產芯片已全(quan)面批量生產，特別是(shi)在美(mei)國(guo)(guo)(guo)持續對荷(he)蘭施(shi)壓的(de)情況(kuang)下，中國(guo)(guo)(guo)科(ke)學院合(he)肥(fei)物(wu)質科(ke)學研究院，更是(shi)已經(jing)成功研制出了10nm級(ji)別的(de)光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，可以說國(guo)(guo)(guo)內光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)(ji)發(fa)展的(de)速度越來越快(kuai)了，相信(xin)過不了多久(jiu)就會追趕國(guo)(guo)(guo)外技(ji)術。
比(bi)如(ru)現(xian)在(zai)已經(jing)有科研機(ji)構在(zai)研發(fa)5nm光(guang)刻機(ji)，更(geng)是有些國(guo)內頂尖科技企業和大學，都紛紛開始研發(fa)3nm和2nm的(de)光(guang)刻機(ji)設備(bei)，所以話(hua)不要(yao)說得太早，我們(men)(men)應該在(zai)這個(ge)(ge)關鍵時期認清現(xian)實，那就是我們(men)(men)雖(sui)然與國(guo)外(wai)技術還有著一段(duan)距離(li)，但是我們(men)(men)追趕的(de)速度是比(bi)國(guo)外(wai)研發(fa)的(de)速度還要(yao)更(geng)快，這就好(hao)比(bi)兩個(ge)(ge)運動員比(bi)賽，其中一個(ge)(ge)率先領(ling)跑(pao)，已經(jing)把另一個(ge)(ge)甩(shuai)得老遠，后者雖(sui)然比(bi)前者要(yao)跑(pao)得更(geng)快，但是想要(yao)超越前者，還需要(yao)一定的(de)時間。
也(ye)許(xu)這個(ge)(ge)時候又有人要說(shuo)吹(chui)牛了，其實(shi)這不(bu)(bu)(bu)僅(jin)不(bu)(bu)(bu)是(shi)(shi)(shi)吹(chui)牛，反而(er)是(shi)(shi)(shi)真正(zheng)的(de)(de)現實(shi)，同(tong)樣就好比兩個(ge)(ge)運(yun)動員，一(yi)(yi)個(ge)(ge)是(shi)(shi)(shi)我(wo)(wo)們(men)(men)(men)國(guo)家的(de)(de)運(yun)動員，另一(yi)(yi)個(ge)(ge)是(shi)(shi)(shi)國(guo)外(wai)的(de)(de)運(yun)動員，由于(yu)(yu)我(wo)(wo)們(men)(men)(men)起(qi)步較晚(wan)，所以一(yi)(yi)直處于(yu)(yu)落后的(de)(de)地(di)步，就如同(tong)我(wo)(wo)們(men)(men)(men)在光(guang)刻(ke)機領域(yu)的(de)(de)研發一(yi)(yi)樣，越(yue)是(shi)(shi)(shi)在這個(ge)(ge)關(guan)鍵時刻(ke)，我(wo)(wo)們(men)(men)(men)越(yue)應該鼓勵(li)運(yun)動員加油，怎(zen)么看好國(guo)產光(guang)刻(ke)機的(de)(de)發展(zhan)，反而(er)變成(cheng)吹(chui)牛了呢(ni)？為何不(bu)(bu)(bu)能(neng)把(ba)它當成(cheng)一(yi)(yi)種鼓勵(li)呢(ni)？不(bu)(bu)(bu)得不(bu)(bu)(bu)說(shuo)，國(guo)內半導(dao)體行業的(de)(de)發展(zhan)，雖然還處于(yu)(yu)落后的(de)(de)階段，但(dan)是(shi)(shi)(shi)我(wo)(wo)們(men)(men)(men)的(de)(de)思想不(bu)(bu)(bu)能(neng)落后，我(wo)(wo)們(men)(men)(men)雖然不(bu)(bu)(bu)能(neng)為國(guo)家做貢獻，但(dan)是(shi)(shi)(shi)至少我(wo)(wo)們(men)(men)(men)可以給國(guo)家加油，給中國(guo)的(de)(de)半導(dao)體事業加油。
