國內半導體行業存在兩個最嚴重的問題，其一就是沒有制造高端芯片的(de)光刻(ke)機(ji)，其(qi)二(er)就(jiu)(jiu)(jiu)是(shi)(shi)沒有(you)用于設計(ji)先進制(zhi)程的(de)EDA工業(ye)(ye)軟(ruan)件(jian)，也就(jiu)(jiu)(jiu)是(shi)(shi)說(shuo)在芯(xin)(xin)片(pian)行(xing)業(ye)(ye)最(zui)核心的(de)硬件(jian)和軟(ruan)件(jian)，我們都(dou)沒有(you)，我們有(you)的(de)只是(shi)(shi)部分芯(xin)(xin)片(pian)設計(ji)能(neng)力和芯(xin)(xin)片(pian)封裝的(de)能(neng)力，不得不說(shuo)，這是(shi)(shi)最(zui)為嚴重的(de)兩(liang)個問題(ti)，想要解(jie)(jie)決這兩(liang)個問題(ti)，我們有(you)三(san)(san)條路可以走(zou)，一(yi)就(jiu)(jiu)(jiu)是(shi)(shi)在成熟芯(xin)(xin)片(pian)上(shang)實(shi)現(xian)自給自足(zu)，二(er)就(jiu)(jiu)(jiu)是(shi)(shi)通過借(jie)力來(lai)實(shi)現(xian)高(gao)端(duan)芯(xin)(xin)片(pian)的(de)量產，三(san)(san)就(jiu)(jiu)(jiu)是(shi)(shi)徹底解(jie)(jie)決光刻(ke)機(ji)和工業(ye)(ye)軟(ruan)件(jian)的(de)問題(ti)，那么(me)今(jin)天我們就(jiu)(jiu)(jiu)主要聊(liao)聊(liao)光刻(ke)機(ji)的(de)問題(ti)，從光刻(ke)機(ji)的(de)角度來(lai)看(kan)看(kan)國內半導體行(xing)業(ye)(ye)發展現(xian)狀(zhuang)。
光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)是(shi)什么時候成為(wei)了(le)國(guo)(guo)(guo)(guo)人(ren)關注的焦(jiao)點？其實就是(shi)美國(guo)(guo)(guo)(guo)禁止(zhi)荷蘭阿(a)斯麥出貨之后(hou)，不(bu)少國(guo)(guo)(guo)(guo)人(ren)都對此(ci)感到(dao)憤怒不(bu)已，也(ye)正是(shi)因(yin)為(wei)如此(ci)，國(guo)(guo)(guo)(guo)內出現了(le)大量關注光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)發(fa)展的群(qun)眾，眾所周知(zhi)，阿(a)斯麥是(shi)全(quan)球最(zui)大的半導體(ti)設備制(zhi)造商，特別(bie)是(shi)用于制(zhi)造先(xian)進制(zhi)程芯(xin)片的關鍵設備，全(quan)世(shi)界也(ye)只有(you)阿(a)斯麥研(yan)發(fa)出來了(le)，美國(guo)(guo)(guo)(guo)不(bu)允許荷蘭出售(shou)EUV光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)給(gei)中國(guo)(guo)(guo)(guo)，就是(shi)害怕中國(guo)(guo)(guo)(guo)在芯(xin)片領域超越美國(guo)(guo)(guo)(guo)，也(ye)正是(shi)因(yin)為(wei)如此(ci)，我(wo)國(guo)(guo)(guo)(guo)為(wei)了(le)解決(jue)這(zhe)個問題，更是(shi)投入巨額(e)資金(jin)支持中科院研(yan)發(fa)光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)，國(guo)(guo)(guo)(guo)內芯(xin)片企業也(ye)不(bu)甘落后(hou)，全(quan)力研(yan)發(fa)可(ke)以替代EUV光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)的光(guang)(guang)刻(ke)設備。
那么(me)現在國(guo)(guo)內光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)究竟發展到(dao)哪一(yi)(yi)步了呢？一(yi)(yi)家中國(guo)(guo)半(ban)導體公司(si)暴露了其真(zhen)相，我們都知道，國(guo)(guo)產光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)最高光(guang)的時刻(ke)，那就是(shi)富士康訂購(gou)46臺國(guo)(guo)產光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，這也一(yi)(yi)度讓(rang)不(bu)少國(guo)(guo)人感到(dao)興(xing)奮不(bu)已(yi)，因為(wei)以(yi)(yi)前(qian)談到(dao)光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，那都是(shi)購(gou)買荷蘭阿(a)(a)斯(si)麥(mai)的光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，可是(shi)富士康偏偏采購(gou)了46臺國(guo)(guo)產光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)，這也讓(rang)不(bu)少人以(yi)(yi)為(wei)國(guo)(guo)產光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)取得重大(da)突破，難道說(shuo)已(yi)經可以(yi)(yi)和(he)阿(a)(a)斯(si)麥(mai)一(yi)(yi)較高下了嗎？然而就在我們高興(xing)沒有多久，一(yi)(yi)家中國(guo)(guo)半(ban)導體公司(si)徹(che)底暴露了其真(zhen)相。
去年一家(jia)國內(nei)芯片廠商(shang)，也就是(shi)(shi)積(ji)塔半導(dao)體公布了設備采(cai)購的(de)最(zui)終結果，那就是(shi)(shi)采(cai)購33臺設備，其中有(you)三十臺來自中國企(qi)業，3臺則是(shi)(shi)阿斯麥的(de)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)訂單，其中兩(liang)臺則是(shi)(shi)i-line光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)，另(ling)外一臺則是(shi)(shi)Krf光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)，也就是(shi)(shi)說(shuo)國產光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)一個也沒(mei)有(you)，并沒(mei)有(you)成為(wei)積(ji)塔半導(dao)體的(de)選(xuan)擇，那么這究竟是(shi)(shi)為(wei)什么呢？難道說(shuo)我們(men)比(bi)不過(guo)阿斯麥的(de)EUV光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)嗎？就連普通(tong)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)都比(bi)不過(guo)嗎？不少網友對此表示非常失望，甚至(zhi)有(you)人(ren)說(shuo)哪怕技術還(huan)不如阿斯麥，我們(men)也應(ying)該使用國產光(guang)(guang)(guang)刻(ke)機(ji)。
不(bu)(bu)(bu)得不(bu)(bu)(bu)說，支(zhi)持(chi)國(guo)貨固(gu)然重要，但是(shi)(shi)(shi)也(ye)要認(ren)清(qing)現(xian)(xian)實，特別是(shi)(shi)(shi)積(ji)(ji)塔半(ban)導體采(cai)(cai)購的(de)(de)設(she)(she)備(bei)，并非全是(shi)(shi)(shi)光(guang)刻機(ji)(ji)設(she)(she)備(bei)，其中還(huan)有(you)蝕(shi)刻、拋(pao)光(guang)、清(qing)洗(xi)等設(she)(she)備(bei)，雖然我(wo)(wo)們(men)在光(guang)刻機(ji)(ji)領(ling)(ling)域(yu)不(bu)(bu)(bu)如(ru)國(guo)外(wai)，但是(shi)(shi)(shi)無論(lun)是(shi)(shi)(shi)蝕(shi)刻還(huan)是(shi)(shi)(shi)拋(pao)光(guang)又或是(shi)(shi)(shi)清(qing)洗(xi)等國(guo)產設(she)(she)備(bei)，我(wo)(wo)們(men)都(dou)已經達到國(guo)際領(ling)(ling)先水平，也(ye)正是(shi)(shi)(shi)因為如(ru)此，積(ji)(ji)塔半(ban)導體采(cai)(cai)購的(de)(de)設(she)(she)備(bei)就有(you)30臺來(lai)自中國(guo)企(qi)業(ye)，這不(bu)(bu)(bu)也(ye)是(shi)(shi)(shi)支(zhi)持(chi)國(guo)產、支(zhi)持(chi)國(guo)貨嗎？就是(shi)(shi)(shi)因為現(xian)(xian)在在很多人(ren)眼里只有(you)國(guo)產光(guang)刻機(ji)(ji)，他們(men)一(yi)旦發現(xian)(xian)我(wo)(wo)們(men)自己的(de)(de)企(qi)業(ye)，并沒(mei)(mei)有(you)使用自己人(ren)的(de)(de)產品(pin)，就會在網絡上(shang)滿嘴(zui)惡(e)評，其實真的(de)(de)沒(mei)(mei)有(you)必要，因為我(wo)(wo)們(men)在芯片設(she)(she)備(bei)領(ling)(ling)域(yu)并不(bu)(bu)(bu)是(shi)(shi)(shi)一(yi)無是(shi)(shi)(shi)處。
其實(shi)早從2020年(nian)在(zai)光(guang)(guang)刻機(ji)領域(yu)加大投入(ru)以后(hou)，2021年(nian)我們就(jiu)已(yi)經成(cheng)功研(yan)制出(chu)，國產(chan)第(di)一(yi)臺28nm的(de)immersion式光(guang)(guang)刻機(ji)，2022年(nian)國產(chan)14nm光(guang)(guang)刻機(ji)的(de)消息也(ye)徹(che)底曝光(guang)(guang)，特別是(shi)去年(nian)9月份(fen)，上(shang)海更是(shi)發(fa)布(bu)了(le)(le)(le)一(yi)則重要消息，那就(jiu)是(shi)我國已(yi)經可(ke)以實(shi)現14nm芯片的(de)生產(chan)，10月份(fen)上(shang)海經信(xin)委更是(shi)正(zheng)式發(fa)布(bu)公告，宣稱14nm國產(chan)芯片已(yi)全面批量生產(chan)，特別是(shi)在(zai)美國持(chi)續對荷蘭(lan)施壓的(de)情(qing)況下，中國科學(xue)(xue)院(yuan)合肥(fei)物質科學(xue)(xue)研(yan)究院(yuan)，更是(shi)已(yi)經成(cheng)功研(yan)制出(chu)了(le)(le)(le)10nm級別的(de)光(guang)(guang)刻機(ji)，可(ke)以說國內光(guang)(guang)刻機(ji)發(fa)展的(de)速度越來越快了(le)(le)(le)，相信(xin)過不(bu)了(le)(le)(le)多久就(jiu)會追趕國外技(ji)術。
比(bi)如現(xian)在(zai)已(yi)(yi)經(jing)有(you)科(ke)研機構在(zai)研發(fa)5nm光刻機，更是(shi)有(you)些國(guo)(guo)內(nei)頂尖科(ke)技(ji)(ji)企業和(he)大學，都紛(fen)(fen)紛(fen)(fen)開(kai)始研發(fa)3nm和(he)2nm的(de)(de)光刻機設備，所以話不要(yao)說得太早，我(wo)們應該在(zai)這(zhe)個(ge)關鍵時期認清現(xian)實，那就是(shi)我(wo)們雖(sui)然與國(guo)(guo)外技(ji)(ji)術還有(you)著一(yi)(yi)段距(ju)離，但是(shi)我(wo)們追趕(gan)的(de)(de)速度是(shi)比(bi)國(guo)(guo)外研發(fa)的(de)(de)速度還要(yao)更快，這(zhe)就好(hao)比(bi)兩個(ge)運(yun)動(dong)員比(bi)賽，其(qi)中一(yi)(yi)個(ge)率先領跑，已(yi)(yi)經(jing)把另(ling)一(yi)(yi)個(ge)甩得老(lao)遠，后者雖(sui)然比(bi)前者要(yao)跑得更快，但是(shi)想要(yao)超越前者，還需要(yao)一(yi)(yi)定的(de)(de)時間。
也許這個(ge)時(shi)候又(you)有(you)人要說(shuo)吹牛(niu)了(le)，其實這不(bu)僅不(bu)是(shi)吹牛(niu)，反而是(shi)真正的(de)(de)現實，同樣就(jiu)好比兩個(ge)運(yun)動(dong)(dong)員(yuan)，一個(ge)是(shi)我(wo)們(men)(men)(men)(men)國(guo)(guo)家的(de)(de)運(yun)動(dong)(dong)員(yuan)，另一個(ge)是(shi)國(guo)(guo)外(wai)的(de)(de)運(yun)動(dong)(dong)員(yuan)，由于(yu)我(wo)們(men)(men)(men)(men)起步較晚，所以一直處于(yu)落(luo)后(hou)(hou)的(de)(de)地步，就(jiu)如同我(wo)們(men)(men)(men)(men)在光刻(ke)機領域的(de)(de)研(yan)發一樣，越是(shi)在這個(ge)關鍵(jian)時(shi)刻(ke)，我(wo)們(men)(men)(men)(men)越應該鼓勵運(yun)動(dong)(dong)員(yuan)加油(you)，怎么看(kan)好國(guo)(guo)產光刻(ke)機的(de)(de)發展，反而變成吹牛(niu)了(le)呢？為(wei)何不(bu)能(neng)(neng)把它當(dang)成一種鼓勵呢？不(bu)得不(bu)說(shuo)，國(guo)(guo)內半(ban)導體行業(ye)的(de)(de)發展，雖(sui)然還處于(yu)落(luo)后(hou)(hou)的(de)(de)階段(duan)，但(dan)是(shi)我(wo)們(men)(men)(men)(men)的(de)(de)思想不(bu)能(neng)(neng)落(luo)后(hou)(hou)，我(wo)們(men)(men)(men)(men)雖(sui)然不(bu)能(neng)(neng)為(wei)國(guo)(guo)家做貢獻，但(dan)是(shi)至(zhi)少我(wo)們(men)(men)(men)(men)可以給國(guo)(guo)家加油(you)，給中(zhong)國(guo)(guo)的(de)(de)半(ban)導體事業(ye)加油(you)。
