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激光退火儀在國內首條量子芯片生產線上投入使用
作者 | 環球Tech2023-01-04

記者日前從安徽省量子計算工程研究中心獲悉,國內首個專用于量子芯片生產(chan)的MLLAS—100激光退火(huo)儀已研(yan)制(zhi)成(cheng)功,可解決量子芯(xin)片位數增(zeng)加時的工藝不穩定因素(su),像“手(shou)術刀(dao)”一樣精準(zhun)剔除(chu)量子芯(xin)片中的“瑕(xia)疵”,增(zeng)強量子芯(xin)片在(zai)向(xiang)多比特擴(kuo)展時的性能,從而進(jin)一步提升量子芯(xin)片的良(liang)品率。

據了解(jie),該激(ji)光(guang)退火(huo)儀由合肥本源(yuan)量子(zi)(zi)計算(suan)科技有限責任公司(si)(以下簡(jian)稱(cheng)本源(yuan)量子(zi)(zi))完全自(zi)主研發,可(ke)達(da)到百(bai)納米級(ji)超(chao)高定位精度,對量子(zi)(zi)芯片中(zhong)單個量子(zi)(zi)比(bi)(bi)特(te)進行局域激(ji)光(guang)退火(huo),從而定向(xiang)控制修飾量子(zi)(zi)比(bi)(bi)特(te)的頻(pin)(pin)率(lv)參數(shu),解(jie)決多比(bi)(bi)特(te)擴(kuo)(kuo)展(zhan)中(zhong)比(bi)(bi)特(te)頻(pin)(pin)率(lv)擁擠的問(wen)題,助力量子(zi)(zi)芯片向(xiang)多位數(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)。

“我(wo)們在量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)生產(chan)(chan)過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong),會通過(guo)量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)(de)‘火(huo)眼金睛(jing)’——無(wu)損探針(zhen)儀來(lai)發現量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)(de)優劣,對(dui)于(yu)其中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)‘壞品’‘次(ci)品’,會采用激光退火(huo)儀去處(chu)理其存在的(de)(de)(de)問(wen)題,就像是醫生做手(shou)術一樣,這把(ba)‘手(shou)術刀’能夠‘對(dui)癥下藥’,改善其中(zhong)(zhong)‘不良(liang)’部分(fen),從(cong)而提高量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)(de)品質。”安徽省量(liang)(liang)子計算工程(cheng)研究(jiu)中(zhong)(zhong)心副主任(ren)賈志龍(long)說,之前發布的(de)(de)(de)量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)無(wu)損探針(zhen)儀和這臺(tai)量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)激光退火(huo)儀都(dou)屬(shu)于(yu)量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)工業母機,前者是發現問(wen)題,后者是解(jie)決問(wen)題,它們之間相(xiang)互配合(he),才能夠生產(chan)(chan)出(chu)更高質量(liang)(liang)的(de)(de)(de)量(liang)(liang)子芯(xin)(xin)片(pian)(pian)。

中國(guo)科學(xue)技(ji)術大(da)學(xue)教(jiao)授(shou)郭國(guo)平介紹(shao),量(liang)(liang)子計(ji)(ji)算機是(shi)具有(you)重要(yao)戰(zhan)略價值的國(guo)之重器,被喻為“信息時代原子彈(dan)”。代表量(liang)(liang)子計(ji)(ji)算機能力水平的一(yi)個重要(yao)參數是(shi)它(ta)的量(liang)(liang)子比特位數,量(liang)(liang)子比特位數越高,其計(ji)(ji)算能力越強。

“為了解決更高位數(shu)量子(zi)(zi)計算機(ji)中的(de)多比特(te)量子(zi)(zi)芯片(pian)(pian)生產(chan)問題,我們自主研發了該設備。”賈志龍表示(shi),這臺激(ji)光退(tui)(tui)火儀擁有正向(xiang)和負向(xiang)兩(liang)種激(ji)光退(tui)(tui)火方式(shi),可(ke)以在(zai)生產(chan)過程中靈活(huo)調節多比特(te)超導量子(zi)(zi)芯片(pian)(pian)中量子(zi)(zi)比特(te)的(de)關鍵參數(shu)。同時,該設備還可(ke)用于半導體集成(cheng)電路芯片(pian)(pian)、材料(liao)表面(mian)局域(yu)改(gai)性處理(li)等領(ling)域(yu),目前(qian)已在(zai)國內第一條量子(zi)(zi)芯片(pian)(pian)生產(chan)線(xian)上投入使(shi)用。

據悉,本(ben)(ben)源量(liang)子(zi)是中國(guo)第(di)一家量(liang)子(zi)計算公司,擁有(you)國(guo)產首個工(gong)程(cheng)化超導量(liang)子(zi)計算機,一直(zhi)致力(li)于超導與硅基(ji)半(ban)導體兩條(tiao)產線工(gong)藝的量(liang)子(zi)計算芯(xin)片(pian)的研發(fa),目前(qian)已(yi)建設全國(guo)第(di)一條(tiao)量(liang)子(zi)芯(xin)片(pian)生產線,發(fa)布國(guo)內首個量(liang)子(zi)芯(xin)片(pian)設計工(gong)業軟件(jian)“Q—EDA”本(ben)(ben)源坤元,進(jin)一步實現我(wo)國(guo)量(liang)子(zi)芯(xin)片(pian)的自主研發(fa)及產業化,助力(li)我(wo)國(guo)在全球新一輪量(liang)子(zi)計算競爭中搶占(zhan)先(xian)機。

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