荷(he)蘭(lan)的(de)(de)(de) ASML 是世界上最重要的(de)(de)(de)半導體(ti)公司(si)之一(yi)。在近日公布的(de)(de)(de)年度(du)報告(gao)中,ASML 表示:“我(wo)們在中國經歷了一(yi)名(現)前員工未經授權盜用(yong)與專(zhuan)有(you)技術有(you)關的(de)(de)(de)數(shu)據。我(wo)們迅速啟(qi)動了全面的(de)(de)(de)內部審查。”
根據初步(bu)調查(cha)結果,ASML 認為這次事(shi)(shi)件(jian)對其業務不存在(zai)重大影響,然而(er)這可能已(yi)違反了(le)某些出口(kou)管制條例。因此(ci),ASML 已(yi)向(xiang)有關部(bu)門報告了(le)該(gai)事(shi)(shi)件(jian)。針(zhen)對這一事(shi)(shi)件(jian),ASML 正在(zai)實(shi)施額(e)外的補救措施。
對于被盜用的數據涉及文件,ASML 沒有詳細說明。不過根據彭博社的報道,該漏洞發生在一個存儲庫中,該存儲庫包含了對生產一些世界上最先進的芯片至關重要的光刻系統的詳細信息。
據報(bao)道,這些數(shu)據來自一個名為(wei) Teamcenter 的(de)產(chan)品生命周期管理程序,Teamcenter 工具(ju)用于內部共享信息。
根據(ju)(ju)提(ti)供該軟件的(de)西門子網站介紹,Teamcenter 充當技術信息(xi)(xi)的(de)共享倉庫,允(yun)(yun)許不同的(de)員工團隊(dui)協作和管理(li)他(ta)們(men)的(de)產品(pin)開發。據(ju)(ju)該網站稱,它允(yun)(yun)許“共同訪問所有與產品(pin)相關的(de)知識(shi)、數據(ju)(ju)和流程(cheng)的(de)單一(yi)存(cun)儲庫”。據(ju)(ju)悉,ASML 使(shi)用該程(cheng)序存(cun)儲有關其(qi)機器的(de)詳細信息(xi)(xi)。
據另(ling)一(yi)位知情(qing)人士透(tou)露,ASML 最近的(de)(de)數據泄(xie)露涉及技術信息而(er)非硬件,并且(qie)是在(zai)過去幾個月由(you)一(yi)名(ming)男性員工(gong)實施的(de)(de)。這位不愿透(tou)露姓名(ming)的(de)(de)人士表示,美國當局已收到通知,因為調查仍在(zai)進行(xing)中。
荷蘭對外(wai)貿(mao)易和發展合作部(bu)長 Liesje Schreinemacher 表示,ASML 已(yi)將此(ci)事告知政府(fu),目前正在進行調查(cha)。
ASML 在(zai)芯(xin)片(pian)供(gong)應鏈中占有獨特的地位。ASML 不生產(chan)芯(xin)片(pian),相反它制造并向(xiang)臺積電等(deng)半導體制造商銷(xiao)售價值 2 億美元的極紫(zi)外(wai) (EUV) 光刻(ke)機(ji)。這(zhe)(zhe)(zhe)些(xie)制造商需要使用這(zhe)(zhe)(zhe)些(xie)機(ji)器來制造世(shi)界上最(zui)先進的芯(xin)片(pian),而 ASML 實(shi)際上在(zai)這(zhe)(zhe)(zhe)個領(ling)域(yu)處于壟斷(duan)地位,因為 ASML 是(shi)世(shi)界上唯(wei)一(yi)一(yi)家(jia)生產(chan)這(zhe)(zhe)(zhe)種(zhong)套件的公司(si)。
根據 ASML 首席執(zhi)行官 Peter Wennink 的說(shuo)法,ASML 在過(guo)去(qu)十年中總共售出了大約 140 套(tao) EUV 系統(tong),每套(tao)成本高達 2 億(yi)美(mei)元,而其下一臺名為(wei) High NA 的機器價格(ge)將(jiang)超過(guo) 3 億(yi)美(mei)元。
根據最新財報,ASML 第(di)四季度凈(jing)銷(xiao)售額達(da)到 64 億(yi)歐(ou)(ou)元,毛利率 51.5%,凈(jing)利潤達(da) 18 億(yi)歐(ou)(ou)元。第(di)四季度訂單(dan)金額為 63 億(yi)歐(ou)(ou)元,其中包括 34 億(yi)歐(ou)(ou)元的 EUV 系統。2022 全年凈(jing)銷(xiao)售額達(da)到 212 億(yi)歐(ou)(ou)元,毛利率為 50.5%,凈(jing)利潤為 56 億(yi)歐(ou)(ou)元。
ASML 的(de)主導(dao)地位(wei)是近些年才形成的(de)。十(shi)年前,該公(gong)司的(de) EUV 研究能(neng)力取(qu)決于(yu)英特爾(er)、三星和臺積電的(de)重大投資。
“我(wo)們(men)沒(mei)有錢,”1999 年加入 ASML 的(de) Wennink 表示,“所(suo)以我(wo)們(men)出(chu)去(qu)尋找合作伙伴,這實際上是我(wo)們(men)建(jian)立公司方式(shi)的(de)基礎。所(suo)以我(wo)們(men)被迫成(cheng)為(wei)系(xi)統架構師和系(xi)統集成(cheng)商。”
ASML 于(yu) 1984 年開(kai)始(shi)作為荷蘭電子(zi)巨頭飛利浦的(de)(de)子(zi)公司運行,它(ta)推出了第(di)一(yi)臺用于(yu)半導體光(guang)(guang)刻的(de)(de)機器(qi)。“第(di)一(yi)臺光(guang)(guang)刻工具(ju)真的(de)(de)看起(qi)來像(xiang)一(yi)臺投(tou)影儀,”ASML EUV 執行副總裁(cai) Christophe Fouquet 表示(shi),“基本上有一(yi)個(ge)掩(yan)模版(ban),保存著你(ni)想(xiang)要投(tou)射的(de)(de)圖像(xiang)。然后是(shi)一(yi)個(ge)光(guang)(guang)學(xue)系統,它(ta)將(jiang)拍攝這個(ge)圖像(xiang)并(bing)將(jiang)其投(tou)射到晶(jing)圓上。”

ASML 于 1984 年在荷蘭 Eindhoven 飛利浦辦公大樓外的(de)一個漏水棚子里開發了第一臺光(guang)刻系統
即將出版的(de)(de)《芯片(pian)戰(zhan)爭(zheng):爭(zheng)奪世界上最關鍵技術的(de)(de)戰(zhan)爭(zheng)》一書(shu)的(de)(de)作者 Miller 表(biao)示,“當業界準備(bei)進(jin)入極紫外輻(fu)射研究的(de)(de)早期階段時,沒有一家(jia)美國公司準備(bei)冒險進(jin)行(xing)這項昂貴且有風險的(de)(de)提議,但(dan)(dan) ASML 準備(bei)好了。”“ASML 是(shi)一家(jia)荷(he)蘭公司,但(dan)(dan)它也是(shi)一家(jia)非常依賴美國零部件的(de)(de)荷(he)蘭公司,尤(you)其是(shi)在其機器(qi)方面(mian)。”
這起(qi)安全事件發生在(zai)荷蘭(lan)政(zheng)府(fu)與美國外交(jiao)的(de)敏(min)感時期,荷蘭(lan)政(zheng)府(fu)處于(yu)中美科技(ji)霸權的(de)漩渦(wo)之(zhi)中,半導體是這場競(jing)爭的(de)重要組成部分(fen)。
EUV 由數(shu)個模塊組(zu)成(cheng),包含(han)了數(shu)十萬個組(zu)件,它們(men)來(lai)自(zi)全球(qiu)近 800 家(jia)供應商。每個模塊都(dou)在 ASML 全球(qiu)60 個地點(dian)之一建造,然后(hou)運(yun)往 Veldhoven 進行組(zu)裝(zhuang)。每臺組(zu)裝(zhuang)好(hao)的機(ji)器經過測試后(hou),會被拆開運(yun)往芯(xin)片制(zhi)造商。運(yun)輸需要 20 輛卡車(che)和三架滿載的波音(yin)747s。 但 ASML 不會將其 EUV 技術運(yun)送到(dao)的國(guo)家(jia)是中國(guo)。
自 2018 年以來,美國(guo)(guo)向(xiang)荷(he)(he)蘭政府施壓,要(yao)求(qiu)其停止 ASML 向(xiang)中(zhong)國(guo)(guo)運送 EUV 機器。ASML 便從此未(wei)將工(gong)具運送到中(zhong)國(guo)(guo)。上個月,彭博社報(bao)道稱,美國(guo)(guo)與(yu)日本和荷(he)(he)蘭達成(cheng)協(xie)議,限制向(xiang)中(zhong)國(guo)(guo)出口先進芯(xin)片(pian)制造(zao)設備。
對此(ci),ASML 回應稱:“我們(men)了解(jie)到,已(yi)經采取(qu)的措施將涵(han)蓋先進(jin)的光刻(ke)工具(ju)以及其他類(lei)型(xing)的設備(bei)。該協議的條款尚未(wei)公開披露,目前仍處于保密狀(zhuang)態。我們(men)預計(ji)政(zheng)府將需要(yao)數月時間才能編寫和制定新(xin)規則。”
如今,ASML 僅將(jiang)機器(qi)出售給(gei)五(wu)家芯片制(zhi)造商。其中,臺積電、三(san)星和英特爾(er)在 2021 年為其貢(gong)獻了將(jiang)近 84%的收入。
“全球(qiu)有 42 個國(guo)家同意對其實施(shi)出口管制措(cuo)施(shi),”Wennink 表示,“所以這不是我們的選擇(ze),而是政府的選擇(ze)。”
據外(wai)媒(mei) CNBC 稱,ASML 在以另(ling)一種(zhong)身份與中國(guo)打交道。該公(gong)司翻新了稱為深紫外(wai)線或 DUV 的舊(jiu)光刻系統,并將(jiang)其(qi)中許多系統出(chu)口給了中國(guo)。Wennink 表示, ASML 售出(chu)的所有(you)(you)機器中有(you)(you) 96% 仍(reng)在工作(zuo)。根(gen)據報(bao)告,2022 年中國(guo)占(zhan) ASML 銷(xiao)售額的 15% 左右(you),今年將(jiang)達到“相似”的水平。
結束語
有美國媒體指出,這次(ci)與中國相(xiang)關的(de)數據盜用事件并(bing)不是第一次(ci)。
ASML 在(zai)2021年的(de)年度報告中指出,一家(jia)名為東方晶源電(dian)子的(de)公司(si)“在(zai)中國積極銷售可能侵(qin)犯(fan)(fan) ASML 知識產(chan)權的(de)產(chan)品。”ASML 提(ti)到,東方晶源與一家(jia)已經(jing)破產(chan)的(de)美(mei)(mei)國公司(si) XTAL 存(cun)在(zai)關(guan)聯(lian),2019 年美(mei)(mei)國法院曾判定 XTAL 侵(qin)犯(fan)(fan) ASML 知識產(chan)權。
根據報道,東(dong)方晶(jing)源申(shen)請了(le) 146 件(jian)國內外發(fa)明(ming)專(zhuan)利,其(qi)中(zhong) 70%的(de)員工都是(shi)研究人(ren)員,其(qi)中(zhong)博士(shi)占 8%,碩(shuo)士(shi)研究生占 53%。去年 11 月(yue)份,東(dong)方晶(jing)源宣布(bu)完成新(xin)一輪近(jin) 10 億元股權融資。東(dong)方晶(jing)源后來發(fa)表聲明(ming)否認了(le)這些(xie)報道,之(zhi)后該(gai)事(shi)件(jian)暫無新(xin)的(de)進展。
但對于 ASML 來(lai)說,技(ji)術(shu)壟斷也意味著樹大(da)招風。ASML 在另(ling)一份聲明中(zhong)表(biao)示(shi),看到(dao)越來(lai)越多(duo)的(de)攻擊者試(shi)圖竊取其技(ji)術(shu)。
ASML 發言人稱,“由于 ASML 的獨(du)特地位和(he)(he)半導體行業(ye)日益加劇(ju)的地緣(yuan)政治緊張(zhang)局(ju)勢,我們看到安全風險不斷上(shang)升:從勒索軟件和(he)(he)網絡釣魚攻(gong)擊,到試圖獲取知識產權或破(po)壞業(ye)務連續(xu)性。”