據科技(ji)新報(bao)報(bao)道,臺積(ji)電(dian)供應商之一的極光先進激光股份(fen)有限公司,8月(yue)15日(ri)上午11時傳出氟氣(qi)鋼瓶泄露事件。氟氣(qi)是(shi)3級管制有毒氣(qi)體,整個廠區立(li)刻疏散,300多(duo)人(ren)撤離。
報道稱(cheng),消(xiao)防(fang)局收到(dao)消(xiao)息后(hou)派人員處(chu)理,確認極光先進激(ji)光公(gong)司發生總量6540克的鋼(gang)瓶(ping)氟氣外(wai)泄事(shi)件,由于氟氣有(you)毒,消(xiao)防(fang)局立即協(xie)助(zhu)廠區疏散清空,并進行止閥冷卻。
消防局表(biao)示,進一步處(chu)理之后,氣(qi)體(ti)(ti)泄(xie)露事(shi)件已經(jing)解決。在(zai)廠內泄(xie)露的氣(qi)體(ti)(ti)偵(zhen)測值已降為(wei)0,并(bing)且消防人(ren)員(yuan)(yuan)目前(qian)確認(ren)閥體(ti)(ti)、鋼瓶沒有(you)其他泄(xie)漏狀況(kuang),公司員(yuan)(yuan)工(gong)也沒有(you)人(ren)員(yuan)(yuan)受困或傷亡的情況(kuang)。
至(zhi)于鋼(gang)瓶氟氣泄露原(yuan)因,需進一(yi)步調查。
公(gong)開資料顯示,極光先進(jin)提(ti)供作(zuo)為(wei)半(ban)導體曝光設備用(yong)(yong)的(de)激光,為(wei)世界上(shang)生(sheng)產曝光用(yong)(yong)Excimer激光制造大廠之一,產品覆蓋亞洲(zhou)市場如中國、日本、韓國等大部分的(de)半(ban)導體制造廠,在歐(ou)美市場使用(yong)(yong)率較高。