據科技(ji)新報報道，臺積電(dian)供(gong)應商(shang)之一的極光(guang)先進激光(guang)股份有限公司，8月(yue)15日上(shang)午(wu)11時傳出氟氣鋼瓶泄露事件(jian)。氟氣是3級管制(zhi)有毒(du)氣體，整個(ge)廠區立刻疏(shu)散(san)，300多人撤離(li)。
報(bao)道稱，消(xiao)防局收(shou)到消(xiao)息(xi)后(hou)派人員處理，確認極光先進激光公(gong)司發生(sheng)總量(liang)6540克的鋼瓶氟氣外泄事件，由(you)于(yu)氟氣有毒，消(xiao)防局立即協(xie)助廠(chang)區疏散(san)清空(kong)，并進行止閥冷卻。
消防(fang)局(ju)表(biao)示，進一步處理之(zhi)后，氣(qi)體泄露(lu)事件已經解決。在廠內泄露(lu)的(de)氣(qi)體偵測值已降為0，并且消防(fang)人員目前(qian)確認閥體、鋼瓶沒(mei)有(you)其他泄漏狀況，公司員工(gong)也沒(mei)有(you)人員受困或(huo)傷亡(wang)的(de)情(qing)況。
至于鋼瓶(ping)氟氣(qi)泄露(lu)原因，需(xu)進一(yi)步調查。
公開資料顯(xian)示，極光(guang)(guang)先(xian)進提供作為半(ban)(ban)導(dao)體曝光(guang)(guang)設備用的激光(guang)(guang)，為世界(jie)上生產曝光(guang)(guang)用Excimer激光(guang)(guang)制造大(da)廠之(zhi)一，產品覆蓋亞洲市場(chang)如(ru)中國、日(ri)本、韓國等大(da)部(bu)分的半(ban)(ban)導(dao)體制造廠，在歐美市場(chang)使(shi)用率(lv)較高。
